Am 22. Januar 1130 erfolgte die Schenkung des Eigengutes "Vare" durch den Freiherr Lütold II. von Regensberg, seiner Frau Judenta und seinem Sohn Lütold III., an das Kloster Einsiedeln. Die Schenkung umfasste ein Gutshaus, eine Kapelle, weitere Liegenschaften, Fischereirechte, Mühlen, Leute usw. Gleichzeitig aber mit der Auflage ein Frauenkloster zu errichten, zu unterhalten und für den Gottesdienst zu sorgen.

Die Grundherrliche Gerichtsbarkeit verblieb im Mittelalter beim Kloster und lässt sich im Wesentlichen auf drei weitere Bereiche aufteilen:

• Fischereirecht
• Gewerbeleihe für Mühle
• Gewerbeleihe für Taverne

In der Reformation besuchte Zwingli das Kloster im Jahr 1524. 1529 Zürich verbietet Besuch an heiligen Messen und 1530 verbietet Zwingli das Chorgebet im Kloster Fahr. 1526 - 30 erfolgte die Auflösung des Konvents. 1545 fand die Wiedereinführung der Gottesdienste durch den Abt von Einsiedeln statt und 1549 erfolgte die Rekonziliation (Wieder-Weihung) der Kirche, vom Heilig-Kreuz-Altar und Friedhof durch den Abt von Einsiedeln.

Mit der Zuteilung des Etters vom Kloster Fahr zum Kanton Aargau geriet das Kloster in eine erneute Klosteraufhebung durch den neuen Kantons Aargau im 19. Jahrhundert.

2008 erfolgte ein Staatsvertrag zwischen dem Kanton Zürich und dem Kanton Aargau: Zuteilung des Kernbereiches vom Kloster Fahr (Etter) zur Gemeinde Würenlos per 1. Januar 2008, Einweihung des neuen Grenzsteines.